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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):?jiǎn)伟械入x子濺射鍍膜儀(標(biāo)準(zhǔn)版)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-PSP180G-1TA-RS
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
單靶等離子濺射鍍膜儀(標(biāo)準(zhǔn)版)配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),能夠有效的提升鍍膜的均勻性?。該單靶等離子濺射鍍膜儀(標(biāo)準(zhǔn)版)可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜
詳情介紹:

TN-PSP180G-1TA-RS 小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標(biāo)準(zhǔn)版-旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái))是我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比等離子濺射鍍膜設(shè)備,具有結(jié)構(gòu)緊湊,簡(jiǎn)單易用,集成度高,旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)提高鍍膜均勻性。等離子濺射靶為2英寸的標(biāo)準(zhǔn)尺寸,客戶可以根據(jù)需要選擇1~3個(gè)靶的不同配置,以滿足鍍單層膜或者多種材料多層膜的不同實(shí)驗(yàn)需求。儀器所配電源為150W直流高壓電源,可用于金屬濺射鍍膜,尤其適合金銀銅等貴金屬的鍍膜。


產(chǎn)品名稱(chēng)
小型單靶等離子濺射鍍膜儀(標(biāo)準(zhǔn)版-旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái))
產(chǎn)品型號(hào)
TN-PSP180G-1TA-RS
主要特點(diǎn)
  • 自主研發(fā)、高性價(jià)比
  • 具有結(jié)構(gòu)緊湊,簡(jiǎn)單操作
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),鍍膜更均勻
  • 150W直流高壓電源,金屬濺射鍍膜
技術(shù)參數(shù)
  1. 1、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái):尺寸φ100mm;轉(zhuǎn)速:1-20rpm可調(diào)
  2. 2、直流濺射頭:數(shù)量2” ×1  
  3. 3、真空腔體:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高純石英、全向透明、頂蓋拆卸式
  4. 4、真空系統(tǒng):雙極旋片真空泵 ;抽氣速率:旋片泵:1.1L/S;極限真空:≥0.1Pa
        抽氣/排氣接口:KF16; 真空測(cè)量:電阻規(guī);
  5. 5、濺射電源配置:直流電源 ×1;max輸出功率:150W,濺射電壓1200V,*大濺射電流50mA
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供電電壓:AC220V,50Hz;功率1500W

1. 鍍膜儀配有通氣接口,可通入保護(hù)性氣體,若客戶需通入混合氣體,可聯(lián)系工作人員自行配置高精度質(zhì)量流量計(jì)以滿足實(shí)驗(yàn)需要。

2.本鍍膜儀標(biāo)配為雙極旋片真空泵,其具有體積小,抽真空快,操作簡(jiǎn)單的優(yōu)勢(shì),若客戶有進(jìn)一步提升真空度的需要,可以聯(lián)系技術(shù)人員選配分子泵組組成高真空系統(tǒng)。


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