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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:2l路質(zhì)量流量計

  • 產(chǎn)品型號:TN-2Z
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
產(chǎn)品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏
詳情介紹:

○ 適用范圍
1.半導體制造業(yè)
2.真空鍍膜設(shè)備
3.特殊材料表面處理
4.燃氣控制
5.泄漏檢測系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測分析設(shè)備
7.化學,石化,冶金,光纖等 

 

○ 產(chǎn)品特點
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏


○ 技術(shù)參數(shù)

功能

兩路質(zhì)量流量計

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45 oC; 較大壓力: 3x106 Pa; 精度: ±1.5% FS重復精度: ±0.2%F.S.;
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM  ; 二路: 1~199 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接;量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ;外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 ;Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認證

CE認證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護


○ 免責聲明

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時,或許導致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。