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臺式掃描電鏡的附件介紹

 更新時間:2021-10-28 點(diǎn)擊量:1259
  臺式掃描電鏡多少錢?掃描電鏡是一個復(fù)雜的系統(tǒng),濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細(xì)機(jī)械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。成像是采用二次電子或背散射電子等工作方式,隨著掃描電鏡的發(fā)展和應(yīng)用的拓展,相繼發(fā)展了宏觀斷口學(xué)和顯微斷口學(xué)。
 
  臺式掃描電鏡多少錢?掃描電鏡是在加速高壓作用下將電子槍發(fā)射的電子經(jīng)過多級電磁透鏡匯集成細(xì)小(直徑一般為1~5nm)的電子束(相應(yīng)束流為10-11~10-12A)。在末級透鏡上方掃描線圈的作用下,使電子束在試樣表面做光柵掃描(行掃+幀掃)。入射電子與試樣相互作用會產(chǎn)生二次電子、背散射電子、X射線等各種信息。這些信息的二維強(qiáng)度分布隨試樣表面的特征而變(這些特征有表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性等等),將各種探測器收集到的信息按順序、成比率地轉(zhuǎn)換成視頻信號,再傳送到同步掃描的顯像管并調(diào)制其亮度,就可以得到一個反應(yīng)試樣表面狀況的掃描圖像。如果將探測器接收到的信號進(jìn)行數(shù)字化處理即轉(zhuǎn)變成數(shù)字信號,就可以由計(jì)算機(jī)做進(jìn)一步的處理和存儲。
 
  臺式掃描電鏡的常用附件是能譜儀(即X射線能量色散譜儀,簡稱EDS)通常是指X射線能譜儀。自能譜儀在20世紀(jì)70年代末和80年代初期普遍推廣以來,首先是在掃描電鏡和電子探針分析儀器上得到應(yīng)用,其優(yōu)點(diǎn)是可以分析微小區(qū)域(幾個微米)的成分,并且可以不用標(biāo)樣。能譜儀收集譜線時一次即可得到可測的全部元素,因而分析速度快,另外,在掃描電鏡所觀察的微觀領(lǐng)域中,一般并不要求所測成分具有很高的度,所以,掃描電鏡配備能譜儀得到了廣大用戶的認(rèn)可,并且其無標(biāo)樣分析的度能勝任常規(guī)研究工作。目前,的采用超導(dǎo)材料生產(chǎn)的能譜儀,分辨率達(dá)到了5~15eV,已超過了25eV分辨率的波譜儀,這是目前能譜儀發(fā)展的zui高水平。

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